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Pulsed DC magnetron sputter 진공 웹코팅 연속증착 장비를 이용한 가스 차단막의 특성

  • 김태환
제목
Pulsed DC magnetron sputter 진공 웹코팅 연속증착 장비를 이용한 가스 차단막의 특성
저자
김태환
발행일
2011-02-10
학회명
2011년(40회) 한국 진공학회 동계 정기 학술대회 발표회
개최지
보광 휘닉스 파크, 강원도 평창, Korea

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