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SiCxNy 박막에 대한 LIGA용 mask membrane으로서의 적용 가능성에 관한 연구

제목
SiCxNy 박막에 대한 LIGA용 mask membrane으로서의 적용 가능성에 관한 연구
저자
안진호
발행일
2001-02-14
학회명
제 8회 한국 반도체학술대회
개최지
COEX 컨벤션센터

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