Al2O3 Thin Film Encapsulation by Spatial Atomic Layer Deposition

  • 전형탁
제목
Al2O3 Thin Film Encapsulation by Spatial Atomic Layer Deposition
저자
전형탁
발행일
2017-05-18
학회명
2017년도 한국재료학회 춘계학술대회
개최지
목포 현대호텔