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Metal precursor effect on deposition and interfacial characteristies of HfO2 dielectries grown by atomic layer deposition
- 제목
- Metal precursor effect on deposition and interfacial characteristies of HfO2 dielectries grown by atomic layer deposition
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2006-02-12
- 학회명
- 제15회 유전체물성심포지움
- 개최지
- 무주리조트