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ALD로 증착시킨 HfO2/SiON 게이트 유전물질의 특성

제목
ALD로 증착시킨 HfO2/SiON 게이트 유전물질의 특성
저자
안진호
발행일
2002-11-01
학회명
2002년도 한국재료학회 추계학술발표
개최지
배재대학교

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