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Nitrogen Doping of SiO2 by N2O Plasma for Stability and Reliability Enhancement in IGZO Thin Film Transistors
- 제목
- Nitrogen Doping of SiO2 by N2O Plasma for Stability and Reliability Enhancement in IGZO Thin Film Transistors
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2025-08-21
- 학회명
- IMID2025
- 개최지
- 부산 벡스코