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터널 절연막 구조에 따른 SiC 나노입자 나노부유커패시터의 전기적 특성

  • 김은규
제목
터널 절연막 구조에 따른 SiC 나노입자 나노부유커패시터의 전기적 특성
저자
김은규
발행일
2009-02-12
학회명
제36회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
현대성우리조트

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