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Gas type optimization for dry development of CF4-based plasma on organic-inorganic hybrid EUV photoresist
- 제목
- Gas type optimization for dry development of CF4-based plasma on organic-inorganic hybrid EUV photoresist
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2023-11-17
- 학회명
- MNC 2023
- 개최지
- 삿포로 KEIO plaza 호텔