수계분산매체에서 나노 SiO2 Powder의 분산

초록

본 연구에서는 ILD(Interlayer Dielectric) CMP공정용 SiO2 슬러리 개발을 위해 수계시스템에서 나노 SiO2 입자의 계면화학 및 분산안정성에 관한 연구를 콜로이드 실리카와 비교 분석하였다. 수계분산매체에서 pH 변화에 따른 SiO2 입자의 전기적 거동을 비교하였으며, SiO2 현탁액의 유동학적 거동과 입도분포와 상호 연관 해석하였다.