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비휘발성 메모리소자 응용을 위한 SiC 나노입자가 삽입된 나노부유게이트 메모리소자의 전기적 특성 및 분석

  • 김은규
제목
비휘발성 메모리소자 응용을 위한 SiC 나노입자가 삽입된 나노부유게이트 메모리소자의 전기적 특성 및 분석
저자
김은규
발행일
2008-02-14
학회명
제34회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
단국대학교 죽전캠퍼스

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