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Chemical Mechanical Polishing Characteristics of Phase Change Memory in Alkaline Slurry with Hydrogen Peroxide
- 제목
- Chemical Mechanical Polishing Characteristics of Phase Change Memory in Alkaline Slurry with Hydrogen Peroxide
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2009-10-22
- 학회명
- 2009 한국물리학회 가을 학술 발표대회
- 개최지
- 창원, 한국