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저유전상수 폴리이미드와 SiO2 절연막 위에 증착된 Al박막의 일렉트로마이그레이션 특성비교

  • 김영호
제목
저유전상수 폴리이미드와 SiO2 절연막 위에 증착된 Al박막의 일렉트로마이그레이션 특성비교
저자
김영호
발행일
1998-05-01
학회명
98 한국재료학회춘계학술발표회 초록집

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