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금속방사성폐기물 제염공정 개발을 위한 NF3 플라즈마의 코발트 산화막 식각 반응

김경민;
채산;
김용수;
전상환

제목: 금속방사성폐기물 제염공정 개발을 위한 NF3 플라즈마의 코발트 산화막 식각 반응

저자: 김경민; 채산; 김용수; 전상환

발행일: 2012-05

유형: Proceeding

저널명: 한국방사성폐기물학회 춘계학술대회

권: 10

호: 1

페이지: 267 ~ 268