ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

Multi-Target Sputtering을 이용한 Mo/Si X-ray 반사형 다층박막 증착에 관한 연구

초록

우수논문상 수상

제목
Multi-Target Sputtering을 이용한 Mo/Si X-ray 반사형 다층박막 증착에 관한 연구
저자
안진호
발행일
2001-05-01
학회명
한국재료학회 춘계학술대회
개최지
공주대학교

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.