CTF 메모리소자의 Recess field 의 모양에 따른 전기적 특성 변화

  • 김태환
제목
CTF 메모리소자의 Recess field 의 모양에 따른 전기적 특성 변화
저자
김태환
발행일
2012-02-09
학회명
2012년 제42회 한국 진공학회 동계 정기학술대회
개최지
강원도 평창 보광휘닉스파크