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Advanced Disposable Spacer를 이용한 Low Vcc Operation용 0.12um 저전력 SRAM공정개발에 관한 연구

  • 전형탁
제목
Advanced Disposable Spacer를 이용한 Low Vcc Operation용 0.12um 저전력 SRAM공정개발에 관한 연구
저자
전형탁
발행일
2002-11-01
학회명
2002년도 한국재료학회 추계학술발표
개최지
배재대학교

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