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Time dependent precursor quality variation of liquid CpZr(DMA)3 and its ALD-ZrO2 film
- 제목
- Time dependent precursor quality variation of liquid CpZr(DMA)3 and its ALD-ZrO2 film
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2013-07-28
- 학회명
- 13th International Conference on Atomic Layer Deposition
- 개최지
- 미국