Co-Solvent를 이용하여 합성된 나노 콜로이달 실리카의 물리화학적 특성이 웨이퍼 가공 공정에 미치는 영향

제목
Co-Solvent를 이용하여 합성된 나노 콜로이달 실리카의 물리화학적 특성이 웨이퍼 가공 공정에 미치는 영향
저자
백운규
발행일
2004-10-15
학회명
2004년 추계 한국세라믹학회
개최지
군산대학교