상세 보기
Effects of Pattern Density on CMP removal rate and Uniformity
- 제목
- Effects of Pattern Density on CMP removal rate and Uniformity
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2000-11-02
- 학회명
- The 10th Seoul International Symposium on the Physics of Semiconductors and Applications - 2000
- 개최지
- 제주도 그랜드 호텔