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TBE(Tunnel Barrier Engineered) 절연막이 WSi2 나노부유게이트 메모리소자 특성에 미치는 영향

  • 김은규
제목
TBE(Tunnel Barrier Engineered) 절연막이 WSi2 나노부유게이트 메모리소자 특성에 미치는 영향
저자
김은규
발행일
2009-08-20
학회명
제37회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최지
디오션리조트

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