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Plasma enhanced Atomic Layer Deposited Indium Oxide Film Using a New Novel Liquid DMION Indium Precursor For Thin Film Transistors
- 제목
- Plasma enhanced Atomic Layer Deposited Indium Oxide Film Using a New Novel Liquid DMION Indium Precursor For Thin Film Transistors
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2022-01-24
- 학회명
- 제29회 한국반도체학술대회