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1 MeV 및 2 MeV 전자빔 조사된 GaN 에피층의 결함

  • 김은규
제목
1 MeV 및 2 MeV 전자빔 조사된 GaN 에피층의 결함
저자
김은규
발행일
2008-02-15
학회명
제34회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
단국대학교 죽전캠퍼스

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