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원거리 원자층 증착법을 이용한 WNxCy 박막 특성 분석

  • 전형탁
제목
원거리 원자층 증착법을 이용한 WNxCy 박막 특성 분석
저자
전형탁
발행일
2016-10-27
학회명
3D NAND FLASH MEMORY 기술동향
개최지
서울 코엑스

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