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강유전체 박막의 하부전극용 Pt/Ti bilaye의 열처리에 따른 미세구조분석

  • 김영호
제목
강유전체 박막의 하부전극용 Pt/Ti bilaye의 열처리에 따른 미세구조분석
저자
김영호
발행일
1995-12-01
학회명
한국전자현미경학회 95추계학술대회 초록집

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