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원자층증착법을 이용한 Hafnium dioxide 박막의 전기적 특성

초록

우수논문상 수상

제목
원자층증착법을 이용한 Hafnium dioxide 박막의 전기적 특성
저자
안진호
발행일
2001-05-01
학회명
한국재료학회 춘계학술대회
개최지
공주대학교

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