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PECVD system으로 증착한 다결정 실리콘 박막에 있어 수소처리가 미치는 영향

제목
PECVD system으로 증착한 다결정 실리콘 박막에 있어 수소처리가 미치는 영향
저자
홍진표
발행일
1999-04-01
학회명
한국물리학회 학술발표회
개최지
건국대학교

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

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