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두께가 다른 2개의 게이트 산화막과 질화막 층을 포함한 FinFET구조를 가진 2-비트 낸드플래시 기억소자의 전기적 성질

  • 김태환
제목
두께가 다른 2개의 게이트 산화막과 질화막 층을 포함한 FinFET구조를 가진 2-비트 낸드플래시 기억소자의 전기적 성질
저자
김태환
발행일
2010-02-17
학회명
2010년 한국 진공학회 동계 정기학술대회
개최지
현대성우리조트, 횡성, Korea

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