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STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 연마입자의 결정특성에 따른 평탄화 효율의 의존성

제목
STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 연마입자의 결정특성에 따른 평탄화 효율의 의존성
저자
백운규
발행일
2003-12-31
학회명
2003년 추계 한국재료학회
개최지
연세대학교

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