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Effect of abrasive size and concentration on the non-prestonian behavior of ceria slurry with surfactant for STI CMP
- 제목
- Effect of abrasive size and concentration on the non-prestonian behavior of ceria slurry with surfactant for STI CMP
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2004-10-22
- 학회명
- 가을 한국물리학회
- 개최지
- 제주대학교