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Fluorine 및 chlorine계 플라즈마 적용 유기-무기 수직분자선 다층 분자막 EUV 포토레지스트의 건식 현상 성능 비교 평가

제목
Fluorine 및 chlorine계 플라즈마 적용 유기-무기 수직분자선 다층 분자막 EUV 포토레지스트의 건식 현상 성능 비교 평가
저자
안진호
발행일
2024-01-24
학회명
The 31th Korean Conference on Semiconductors
개최지
경주화백컨벤션센터

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