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Si(100)기판의 표면 구조변화에 따른 화학적 산화막을 이용한 CoSi2의 성장에 관한 연구

  • 전형탁
제목
Si(100)기판의 표면 구조변화에 따른 화학적 산화막을 이용한 CoSi2의 성장에 관한 연구
저자
전형탁
발행일
1999-05-01
학회명
한국 재료학회 춘계 학술대회
개최지
금오공대

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