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Modification of electrical and structural properties at interface between Ru and SiGe with annealing
- 제목
- Modification of electrical and structural properties at interface between Ru and SiGe with annealing
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2023-11-20
- 학회명
- PRICM11
- 개최지
- 제주 국제 컨벤션센터