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스퍼터링 방법에 의하여 형성된 Al-도핑된 ZnO 박막의 전기적 특성과 광학적 특성

  • 김태환
제목
스퍼터링 방법에 의하여 형성된 Al-도핑된 ZnO 박막의 전기적 특성과 광학적 특성
저자
김태환
발행일
2010-02-17
학회명
2010년 한국 진공학회 동계 정기학술대회
개최지
현대성우리조트, 횡성, Korea

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