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UHV ECR Plasma CVD를 이용한 X-ray lithograpy mask용 SiNx membrane

제목
UHV ECR Plasma CVD를 이용한 X-ray lithograpy mask용 SiNx membrane
저자
안진호
발행일
1995-05-01
학회명
춘계 한국재료학회 학술대회

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