ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

상용 광학유리의 CF4/O2/Ar 혼합 플라즈마 식각 반응에 따른 내플라 즈마 및 광학 특성 분석

제목
상용 광학유리의 CF4/O2/Ar 혼합 플라즈마 식각 반응에 따른 내플라 즈마 및 광학 특성 분석
저자
임원빈
발행일
2021-06-16
학회명
2021년 한국세라믹학회 추계학술대회
개최지
창원컨벤션센터(온라인 동시진행)

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.