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전자빔 조사 및 후 열처리를 통한 GaN 에피층 결함의 종류와 농도조절에 관한 연구

  • 김은규
제목
전자빔 조사 및 후 열처리를 통한 GaN 에피층 결함의 종류와 농도조절에 관한 연구
저자
김은규
발행일
2008-04-18
학회명
2008년 한국물리학회 봄 학술논문발표회
개최지
대전컨벤션센터

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