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SiNx 단일막을 이용한 EUV 펠리클 멤브레인의 기계적/광학적 특성 분석

제목
SiNx 단일막을 이용한 EUV 펠리클 멤브레인의 기계적/광학적 특성 분석
저자
안진호
발행일
2015-04-01
학회명
제4회 차세대리소그래피학술대회
개최지
서울 COEX

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

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