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PEALD법으로 증착된 ZrO2 Gate Dielectric의 열처리 온도에 따른 특성의 변화

  • 전형탁
제목
PEALD법으로 증착된 ZrO2 Gate Dielectric의 열처리 온도에 따른 특성의 변화
저자
전형탁
발행일
2002-05-17
학회명
2002 한국재료학회 춘계학술발표대회
개최지
한양대학교(안산) 제1과학기술관 및 백남 학술관

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