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4도 off axis Si(100)기판과 on-axis Si(100)기판위에서의 Ti-silicide상 형성

  • 전형탁
제목
4도 off axis Si(100)기판과 on-axis Si(100)기판위에서의 Ti-silicide상 형성
저자
전형탁
발행일
1996-05-01
학회명
한국재료학회초록집

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