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한국풍공학회지
ISSN
P 1226-7872
출판사
한국풍공학회
국가
SOUTH KOREA
발행 상태
활성
데이터베이스 수록 정보
KCI 2009-2019 (11년)
KCI 등재 2015-2021 (7년)
KCI 등재후보 2001-2014 (14년)
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2014
Article
Effects of physico-chemical properties between poly(ethyleneimine) and silica abrasive on copper chemical mechanical planarization
- Seo, Jihoon ;
- Yoon, Kwang Seob ;
- Moon, Jinok ;
- Kim, Kijung ;
- Sigmund, Wolfgang ;
- ... Palk, Ungyu
- 2014-01
- Angewandte Chemie
- ELSEVIER SCIENCE BV