High Resolution Patterning Method by Using Water-mediated Nanotransfer Molding

제목
High Resolution Patterning Method by Using Water-mediated Nanotransfer Molding
저자
성명모
발행일
2010-02-18
학회명
제38회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
현대성우리조트(강원도횡성)