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Y2O3 코팅 탐침을 이용한 플라즈마 전자 온도 및 이온 밀도 측정 신뢰성 평가

제목
Y2O3 코팅 탐침을 이용한 플라즈마 전자 온도 및 이온 밀도 측정 신뢰성 평가
저자
정진욱
발행일
2026-02-09
학회명
제 70회 한국 진공학회
개최지
Sono Calm Vivaldi Park, Hongcheon, Gangwon-do, Republic of Korea

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