The Process Development for Monolithic 3D Integration Using Large-Scale Silicon-On-Insulator (SOI) Wafer Bonding

제목
The Process Development for Monolithic 3D Integration Using Large-Scale Silicon-On-Insulator (SOI) Wafer Bonding
저자
최창환
발행일
2022-01-26
학회명
한국반도체학술대회
개최지
강원도 하이원 그랜드 호텔