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Copper Atomic Layer Deposition by Using Substitution Reaction Between Cu(OCH(Me)CH2NMe2)2 and Et2Zn
- 제목
- Copper Atomic Layer Deposition by Using Substitution Reaction Between Cu(OCH(Me)CH2NMe2)2 and Et2Zn
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2008-12-26
- 학회명
- Special Symposium on Emerging Science & Technology
- 개최지
- 한양대학교