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VI probe 측정을 통한 헬리컬 공진 플라즈마 방전 특성 분석 연구

제목
VI probe 측정을 통한 헬리컬 공진 플라즈마 방전 특성 분석 연구
저자
정진욱
발행일
2026-02-09
학회명
제 70회 한국 진공학회
개최지
Sono Calm Vivaldi Park, Hongcheon, Gangwon-do, Republic of Korea

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