Ion Cut-Based Thin Si Layer Transfer on the 8 inch Full Device Wafer for the Monolithic 3D Integration Scheme

제목
Ion Cut-Based Thin Si Layer Transfer on the 8 inch Full Device Wafer for the Monolithic 3D Integration Scheme
저자
최창환
발행일
2018-02-06
학회명
한국반도체학술대회
개최지
강원도 하이원리조트 컨벤션호텔