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CF4 유도 결합플라즈마에서 전자 빔을 이용한 실리콘 패턴 웨이퍼 식각 연구

제목
CF4 유도 결합플라즈마에서 전자 빔을 이용한 실리콘 패턴 웨이퍼 식각 연구
저자
정진욱
발행일
2023-08-22
학회명
제65회 한국진공학회
개최지
신화월드(제주)

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