ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

Tantalum Pentachloride (TaCl5) 전구체를 활용한 ALD TaN 금속 박막 형성 및 분석

제목
Tantalum Pentachloride (TaCl5) 전구체를 활용한 ALD TaN 금속 박막 형성 및 분석
저자
최창환
발행일
2020-10-30
학회명
대한금속재료학회 추계학술대회
개최지
Virtual Conference

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.