Fabrication of ZnO thin films with high conductivity and stability by UV-assisted atomic layer deposition

제목
Fabrication of ZnO thin films with high conductivity and stability by UV-assisted atomic layer deposition
저자
성명모
발행일
2016-10-14
학회명
대한화학회 제118회 총회 및 학술발표회
개최지
부산 BEXCO