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전자 빔의 에너지에 따른 Ar/O2 플라즈마의 electronegativity 특성 연구

제목
전자 빔의 에너지에 따른 Ar/O2 플라즈마의 electronegativity 특성 연구
저자
정진욱
발행일
2024-02-15
학회명
제66회 한국진공학회
개최지
휘닉스파크 강원도 평창

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